技術優勢   Technical advantages

     

硅烷有多種制法,目前主流的生產工藝有:硅鎂合金法工藝(Komatsu 硅化鎂法);氯硅烷歧化工藝(Union Carbide 歧化法);金屬氫化物工藝(MEMC公司發明的新硅烷法)三種。上海交通大學肖文德教授以多功能反應完善了UCC工藝,在硅烷科技公司應用獲得 成功,其反應式為:


  Si+HCl----------- SiHCl3


  SiHCl3-----------SiCl4+ SiH2Cl2


  SiH2Cl2----------SiHCl3+ SiH3Cl


  SiH3Cl-----------SiH4+ SiH2Cl2


  該完善了UCC工藝中存在的三氯氫硅轉化效率低的不足,將其轉化率到以平,使我國生產高純硅烷走到了世界。


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