硅烷有多種制法，目前主流的生產工藝有：硅鎂合金法工藝（Komatsu 硅化鎂法）；氯硅烷歧化工藝（Union Carbide 歧化法）；金屬氫化物工藝（MEMC公司發明的新硅烷法）三種。上海交通大學肖文德教授以多功能反應完善了UCC工藝，在硅烷科技公司應用獲得 成功，其反應式為：

　　Si+HCl----------- SiHCl3

　　SiHCl3-----------SiCl4+ SiH2Cl2

　　SiH2Cl2----------SiHCl3+ SiH3Cl

　　SiH3Cl-----------SiH4+ SiH2Cl2

　　該完善了UCC工藝中存在的三氯氫硅轉化效率低的不足，將其轉化率到以平，使我國生產高純硅烷走到了世界。